解决方案

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半导体参数测量

发布时间:2023-12-16分类:【半导体测试】浏览量:

自动化测量,提高效率!
《半导体参数测量软件CS-810》

过去,手动设置各个项目需要花费大量时间进行测量,但通过使用“半导体参数测量软件CS-810”,可以轻松实现测量的自动化,并且可以保存测量细节作为证据。另外,通过预先设定阈值,可以进行自动判断。

优点介绍

  • 按照测量程序准确测量
  • 测量细节也被保存为证据
  • 自动判断也是可以的
  • 可选产品的控制也可以自动化(例如使用热板进行温度控制)

我其实对比过(和我们公司相比)

我们使用相同的样品对自动测量(半导体参数测量软件CS-810)与传统手动测量进行了比较。

  • 关于手动测量所需的时间,假定由具有相当知识的人进行操作。


安装在 PC 上的软件选项,可通过以太网控制曲线追踪器、扫描仪、热板等。
通过简单的设置,您可以使用曲线追踪器自动完成以前只能手动完成的测量,提高工作效率。

半导体参数测量软件CS-810

无需编程知识

通过将手动测量的曲线追踪器设置加载到 PC 中来设置序列,因此任何人都可以轻松设置,无需任何编程知识。

无需编程知识

自动测量(漏电流、饱和电压、VF、Vth等)

自动测量(漏电流、饱和电压、VF、Vth等)

测量结果窗口

测量结果窗口

波形比较功能

您可以比较测量后保存的许多波形,例如在开发和故障分析期间。还可以通过比较波形来判断产品的好坏。

波形比较判断

您可以通过与参考数据进行比较来判断通过/失败。

波形显示

您可以在同一个图表上显示和比较最多 10 个波形,包括以前采集的 CSV 文件、曲线跟踪器调用波形和当前采集的波形。

缩放功能

以任意间隔将显示波形的电压轴保存到 CSV 文件。在表格中显示测量结果时,可以对齐电压轴。

光标功能

显示波形的值显示在列表中。它还对采样点以外的值进行插值和显示。

评论显示

您可以显示、编辑和移动每个波形上的注释。

保存图形图像

图形、文件列表和光标值的任意组合都可以保存在图像文件中。
(图像格式:PNG/BMP/JPG/TIFF)

各种图表显示

--可配置项--

图形标题、绘图区域背景颜色、光标颜色、线点(仅直线、仅点、直线和点) X 轴、Y 轴:轴标题、数据选择 (Ic/Vce/Vbe)、刻度 (Log) /Linear)(仅限 Y 轴)、刻度间隔(自动、1-2-5Step)、刻度最小值、最大值、网格(显示颜色、隐藏)

波形比较功能

传输特性自动测量功能

可以使用曲线追踪器自动测量传输特性。

传输特性自动测量功能

将特性曲线保存到文件

将测量的特性保存到 CSV 文件,并将图形作为图像数据保存到文件
*图像格式:PNG/BMP/JPG/TIFF

光标功能

在 X 轴和 Y 轴上显示光标。通过在测量数据之间插值来显示值。

自定义图表区域

您可以自定义图表标题、轴标签、背景颜色、轴范围等。

保存/读取设置

特征测量设置和图形区域自定义设置可以保存并调用到文件中。

波形比较功能

设备测试

快速可靠地测试和记录多个设备。
自动执行多个测量项目。
操作人员只需根据弹出信息更换设备、更换接线并根据需要输入样品名称(具有样品名称自动递增功能),即可在相同条件下重复测量。
显示每次测量的判断结果,并自动保存图像和波形数据。

输入样品名称并设置在测试夹具中


电脑屏幕

测量过程中显示测量值和判断结果


电脑屏幕
电脑屏幕

根据判定结果暂停并弹出作业指示


电脑屏幕

根据测量项目弹出暂停和工作指示


电脑屏幕

测量完成后,您可以将LOG文件导出为CSV或Excel格式。
测量过程中,自动保存波形图像和数据。
压力测试日志将保存在单独的文件中。
您还可以从日志显示屏幕中选择测量结果并重新测量。

模块测量

与曲线追踪器同时控制扫描仪系统。
还可以控制每个元件门的开路/短路和HV/HC切换,从而无需移除母线即可全自动测量一个模块。

通过设置一个元素然后复制多个元素,可以轻松创建 CS-810 设置。

电脑屏幕
电脑屏幕
  • 不被测量的元件的栅极可以短接到发射极(CS-707)

将特性曲线保存到文件

将测量的特性保存到 CSV 文件,并将图形作为图像数据保存到文件
*图像格式:PNG/BMP/JPG/TIFF

光标功能

在 X 轴和 Y 轴上显示光标。通过在测量数据之间插值来显示值。

自定义图表区域

您可以自定义图表标题、轴标签、背景颜色、轴范围等。

保存/读取设置

特征测量设置和图形区域自定义设置可以保存并调用到文件中。

半导体的温度特性评估

CS-810还同时控制热板。
每个温度参数的耗时测量也可以全自动完成。

温度特性图示例
形象图
设备配置示例

压力测试

压力测试中可以纳入各种参数

  • 可以进行长期可靠性测试。
  • 电流和电压始终在曲线跟踪器侧自动监控,并记录电流和电压的变化。
  • 在压力测试之前和期间可以自动测量各种参数。
  • 设置电流和电压的下限和上限,超过限制时停止施加。

保持恒定电压或电流(10秒至1,000小时)
测量Ic和Vce(间隔:10秒至2小时)

说明图

分立器件测试

一键连接并测量多台设备

同一元素可以依次测量。扫描仪系统CS-700系列有10个通道。全自动测量 10 种元素,包括耗时的温度特性。控制软件CS-810的设定也可以通过复制一个要素来完成。

分立器件测试

*CS-700系列最多可并行运行10个系统。

支持晶圆测量


与探针系统结合测量晶圆上的器件
探针电缆 CS-306/308
用于连接探针和曲线追踪器的电缆(配备联锁端子)

探针电缆CS-306/308探针电缆CS-306/308