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半导体曲线图示仪CS-8000系列

型  号: CS-8000系列

名  称:半导体曲线图示仪CS-8000系列

品  牌:IWATSU

简  述: CS-8000 系列半导体曲线示踪仪是所有过程表征的理想选择,具有多种单元的组合,并与下一代半导体测量兼容。

  • 产品特点
  • 产品参数
  • 应用说明
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    [新品] CS-8000 半导体曲线描绘仪
    • 高达 5kV,高达 2000A 的大功率测试
    • 精确的微电流测量(分辨率 250fA)
    • 12.1英寸大触摸屏
    • 多种GATE信号输出功能
    • 广泛的温度特性测量选项
    • 使用探针进行高功率晶圆测试

    CS-8000 系列半导体曲线示踪仪是所有过程表征的理想选择,具有多种单元的组合,并与下一代半导体测量兼容。

    主要规格 栅极电压 电压范围 最大测量电流 电流测量分辨率
    ± 40V 0.25 kV 2千安培 250毫安
    实测
    优势
    • 与 SiC 和 GaN 器件兼容
    • 与晶圆和低功率设备兼容
    • 兼容大功率设备
    • 支持微小电流测量
       
    用户友好的用户界面
     配备 12.1 英寸 TFT-LCD (1,280 x 800) 高清大屏幕显示器。除了触摸屏操作外,前面板上的功能键和每个功能的独立旋钮可实现直观的操作。。

    (1) X-Y显示区

    X、Y轴可分别设置任意电压/电流参数,显示Vds-Id特性、阈值电压、Vds-Vgs饱和特性等各种半导体特性曲线。此外,您还可以为 Y 轴设置多个参数。刻度可以在对数/线性之间切换。

    ②Y-T显示区

    像示波器一样在时间轴上显示测量的应用波形。可实时确认脉冲宽度、测量点数、振荡等波形异常,可轻松确认是否进行了正确的测量。所有施加的波形数据都可以与 XY 显示数据同时保存,从而可以重新验证测量结果。

    ③ 测量数据显示区

    详细的测量结果、测量条件和状态以文本格式显示。

    ④配置设置区

    设置设备测量配置。图形显示支持电压/电流单位选择和接线更改。

    ⑤ 参数设置区

    在此区域中,您可以设置测量参数和测量限值,并在手动和自动测量之间切换。

    ⑥ 操作面板

    按钮和旋钮位于前面板上,便于手动测量。中央数字键盘允许输入参数的数字。DRAIN/COLLECTOR、GATE/BASE、垂直轴和水平轴旋钮可轻松进行手动测量。


    应用程序的输出源

    可根据应用任意选择测量所需的电压和电流单位。


    右边的照片是

    上排:测试治具

    下排:大电流单元


    ■高压机组

    2kV、5kV高压机组。可选择直流/脉冲波。可选择恒压/恒流驱动测量。
    主机 CS-8200 CS-8500
    最大电压
    (最大电流)
    2kV
    (20mA)
    5kV
    (8mA)
    波形 直流、脉冲
    极性 正面及负面
    测量电流分辨率 250 毫安

    ■ MV单元(所有主要单元通用)

    最大电压
    (最大电流)
    200V (2A)
    波形 DC (200 mA)、
    脉冲 (2 A)、
    SIN、半波、全波
    极性 正/负/双极
    测量电流分辨率 250 毫安
    200V 中压装置。可选择恒压/恒流驱动测量。除了 DC 和脉冲波形外,还可以选择 SIN、半波和全波波形。

    ■ GATE 单元(所有主要单元通用)

    它是一个 40V 单元。可选择恒压/恒流驱动测量。除DC外,还可以选择脉冲、SIN。
    最大电压(最大电流) 40V (1A)
    波形 直流、脉冲、正弦
    极性 正/负/双极
    测量电流分辨率 250 毫安

    ■ 碳氢化合物单元

    碳氢化合物
    单元
    CS-205 CS-210 CS-220
    最大电流
    (电压)
    500A
    (50V)
    1kA
    (50V)
    2kA
    (50V)
    波形 脉冲
    脉冲宽度 10 微秒至 1 毫秒 10 微秒至 500 微秒
    极性 正面及负面
    安装大电流模式后,可支持高达2000A的大电流测量。可以更改脉冲宽度、测量间隔和测量范围。


    最小电流分辨率 250 fA
    通过采用三轴设计和优化测量系统,减少了设备内部的泄漏和噪音,从而可以稳定地测量微小电流。


    多功能 GATE 信号输出


    GATE 信号可以按顺序输出并应用。


    保持时间可变范围

    0.000[s] 至 5.000[s]


    备用信号电压范围

    GATE 侧 -40[V] 至 +40[V]






    CS-8000系列主要规格
    主机型号名称 CS-8020 CS-8200 CS-8500
    高压机组
    最大峰值电压(最大电流) 2kV (20mA) 5kV (8mA)
    测量电压范围(满刻度) 2kV 至 50V 5kV 至 50V
    测量电流范围 20mA 至 50uA 20mA 至 50uA
    最小测量电流分辨率 250 毫安 250 毫安
    波形 直流/脉冲 直流/脉冲
    中压单位
    最大峰值电压(最大电流) 200V (1A)
    测量电压范围(满刻度) 200V 至 200mV
    测量电流范围 2A 至 5nA
    最小测量电流分辨率 250 毫安
    波形 DC (200 mA)、脉冲 (2 A)、SIN、半波、全波
    门单元
    最大峰值电压(最大电流) 40V (1A)
    测量电压范围(满刻度) 50V 至 1V
    测量电流范围 1A 至 5nA
    最小测量电流分辨率 250 毫安
    波形 直流/脉冲/正弦波 (50 赫兹)
    标准配件 电源线、控制接口端接器、使用说明书(小册子+CD)

    HC 单元型号名称 CS-205 CS-210 CS-220
    最大峰值电流(最大电压) 500A (50V) 1,000A (50V) 2,000A (50V)
    测量电压范围(满刻度) 50V 至 200mV 50V 至 200mV 50V 至 200mV
    测量电流范围 500A至5A 1,000A 至 5A 2,000A 至 5A
    波形 脉冲
    (10 μs 至 1 ms 宽度)
    脉冲
    (10 μs 至 500 μs 宽度)
    脉冲
    (宽度 10 μs 至 500 μs)
    标准配件 电源线、HC-FIXTURE连接装置、使用说明书

    * 使用 HC 装置时,需要单独的检测电缆。

    测试治具型号名称 CS-320MV(即将推出) CS-322HV/HC
    标准配件 电源线、标准导线组(CS-005 7 件套)、使用说明书
    高压/高压电缆 (2)

    *连接测试夹具时,需要单独的电缆。

    ■ 电缆套件(连接测试夹具和 HC 单元时使用。)
    电缆组名称 型号 产品名称

    CS-020

    MV标准电缆组

    (CS-320 的推荐设置)

    CS-026 7 根三轴电缆 (L=1.0 m)
    CS-027 1 条控制接口电缆 (L=1.0 m)
    CS-028 1 联锁/感应电缆 (L=1.0 m)

    CS-021

    高压标准电缆组

    (CS-322 的推荐设置)

    CS-025 2 根高压电缆 (L=1.0 m)
    CS-026 7 根三轴电缆 (L=1.0 m)
    CS-027 1 条控制接口电缆 (L=1.0 m)
    CS-028 1 联锁/感应电缆 (L=1.0 m)

    CS-022

    HC 标准电缆套件

    (HC 单元的推荐设置)

    CS-027 1 条控制接口电缆 (L=1.0 m)
    CS-028 1 联锁/感应电缆 (L=1.0 m)


    迟滞测量

    CS-8000 具有测量 SiC 和 GaN 等具有滞后效应的宽带隙半导体的便捷功能。


    双扫功能同时显示上扫和下扫,可以观察滞后现象。



    安全机制

    除了互锁功能外,它还具有输出限制功能。


    您可以为电压、电流和功率设置限制值,以防止损坏 DUT。

    此外,硬件过流保护功能在电流为量程的1.4倍时切断电流。



    组合配置

    可根据测量对象的电压和电流选择 HC 单元和夹具。

    ■ 配置示例 在 2 kV、2,000 A 下使用时
    主机 CS-8200 附件电缆
    碳氢化合物单元 CS-220 高压标准电缆组 CS-021
    测试治具 CS-322HV/HC HC 标准电缆套件 CS-022

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