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锁相放大器LI5600系列

型  号: LI5600

名  称:锁相放大器LI5600系列

品  牌:NF锁相放大器

简  述: 光声法是将通过向试样照射光而生成的热能转换为压力变动,用麦克风作为音响信号进行测定的方法

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    光声法是将通过向试样照射光而生成的热能转换为压力变动,用麦克风作为音响信号进行测定的方法。用于检测半导体制造过程中的缺陷、测量不透明物质的吸收光谱、检测固体内部的成像等。
    声学信号检测使用锁相放大器。

    【KEY WORDS】
    ●光热转换法
    ●半导体
    ●成像
    ●光声显微镜(PAM)
    ●声光调制器(AOM)

    【NF锁相放大器】
    ●较高测量频率11MHz,可实现调制频率的高频化(LI5660)
    ●较小时间常数1us、较小时间常数(LI5655/LI5660)
    ●具有100dB以上动态保留,即使在光学条件差的环境下也能够测定

    【光声法原理】

    【測量案例】

    ●当固体样品受到光的间歇照射时,样品吸收光能,成为热源,并将其转化为热能。
    ●热能导致密封容器内的压力波动,麦克风将其检测为声信号。
    ●光照射信号从函数发生器(NF WF1973)输出并输入到AOM。
    ●使用锁定放大器测量麦克风信号。参考信号使用与AOM调制器调制的调制入射光相同的频率。
    ●在锁相放大器的测量结果中、振幅代表吸收的光能的量、相位差代表声波产生相对于间歇入射光的延迟。


    【測量设备】
    数字锁定放大器 LI5600 系列 11MHz

    快速响应・高灵敏度、双频同时测量
    ●频率范围
    LI5660: 0.5Hz~11MHz* *使用HF 输入端子时
    LI5655: 0.5Hz~3MHz
    LI5650/LI5645: 1mHz~250kHz
    ●最小时间常数
    LI5660/LI5655: 1μs
    LI5650/LI5645: 5μs
    ●双频同时测量
    (LI5660/LI5655/LI5650)
    ●分数谐波测量


    【选购指南】◎:配备 -:非配备

    LI5660 LI5655 LI5650 LI5645
    频率范围 0.5Hz~11MHz 0.5Hz~3MHz 1mHz~250kHz 1mHz~250kHz
    信号输入 电压(A, A-B, C, HF)、电流(I) 电压(A, A-B)、电流(I) 电压(A, A-B)、电流(I) 电压(A, A-B)
    10V输入 ◎C输入端子、0.5Hz~3MHz
    高频输入 ◎HF输入端子、10kHz~11MHz
    灵敏度 A, A-B:10nV~1V F.S. (0.5Hz~3MHz) 10nV~1V F.S. (0.5Hz~3MHz)
    10fA~1μA F.S.
    10nV~1V F.S. (1mHz~250kHz)
    10fA~1μA F.S.
    10nV~1V F.S. (1mHz~250kHz)
    C: 1mV~10V F.S. (0.5Hz~3MHz)
    HF: 1mV~1V F.S. (10kHz~11MHz)
    I: 10fA~1μA F.S.
    输入转换噪声 4.5nV/√Hz (参考值)
    PSD(相位检波) 2相位·2频率 2相位·2频率 2相位·2频率 2相位·1频率
    动态保留 100dB
    时间常数 1μs~50ks 1μs~50ks 5μs~50ks 5μs~50ks
    模拟输出最高刷新率 约1.5M个样本/秒 约1.5M个样本/秒 约780k个样本/秒 约780k个样本/秒
    双频同时测量
    分数谐波测量 ◎基波分数波(1~63)/(1~63)
    外部10MHz同步
    测量参数 X,Y,R,θ,DC,NOISE
    外部控制 USB, GPIB, RS-232, LAN


    【关连产品】支持微小信号测量的产品

    多功能信号发生器 WF1973(1CH)/WF1974(2CH)


    【AOM驱动用信号源】
    ●振荡频率 0.01uHz~30MHz
    ●振幅分辨率 14bit
    ●振幅设定 最大20Vp-p/开放
    ●WF1973:1CH, WF1974: 2CH


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